Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы

Přispěvatelé: Ан, Владимир Вилорьевич
Jazyk: ruština
Rok vydání: 2015
Předmět:
Databáze: OpenAIRE