Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий

Přispěvatelé:	Линник, Степан Андреевич
Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2016
Předmět:	теплопроводность плазмохимическое травление оптические элементы sense organs полупроводниковая электроника алмазные покрытия
Popis:	The effect of treatment by reactive ion etching in an argon atmosphere, and hydrogen plasma etching ina glow discharge plasma on the surface of the diamond films deposited by CVD method was investigated. Basedon the results of the research, changes in the surface morphology of the coatings and phase composition was analyzed, the processes occurring in the processing was researched.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3626::437390e315021d30f4c9e638b9ef149f http://earchive.tpu.ru/handle/11683/26019 Zobrazit plný text záznamu