High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering

Autor:	Sidelev, Dmitry Vladimirovich, Bleykher, Galina Alekseevna, Grudinin, Vladislav Alekseevich, Krivobokov, Valery Pavlovich, Bestetti, Massimiliano
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2019
Předmět:	подложки магнетронное распыление высокоскоростное осаждение хромовые покрытия мишени
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______3626::28a6215fc7670e4629f08b2c92d19a97 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57740 Zobrazit plný text záznamu