Sensores de humedad de película delgada
| Autor: | Broitman, E., Latorre, D., Sendra, C., Zimmerman, R. |
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| Jazyk: | Spanish; Castilian |
| Rok vydání: | 1990 |
| Zdroj: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 1990;01(02):277-279 Biblioteca Digital (UBA-FCEN) Universidad Nacional de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales instacron:UBA-FCEN |
| Popis: | En este trabajo se describe la construcción y caracterización de un sensor de humedad que emplea como elemento sensible alúmina. Se trata de un sensor capacitivo constituído por una capa dieléctrica de Al₂O₃ entre electrodos metálicos, fabricado con tecnología de película delgada Fil: Broitman, E.. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina Fil: Latorre, D.. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina Fil: Sendra, C.. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina Fil: Zimmerman, R.. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ingeniería. Departamento de Física (UBA-FI). Buenos Aires. Argentina |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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