Efecto de la temperatura del sustrato en los esfuerzos residuales de las películas de zno sintetizadas por rociado pirolítico
| Autor: | Noriega Díaz, Ernesto Augusto |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Angelats Silva, Luis Manuel |
| Jazyk: | Spanish; Castilian |
| Rok vydání: | 2016 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Universidad Nacional de Trujillo Repositorio institucional-UNITRU UNITRU-Tesis instacron:UNITRU |
| Popis: | In this present work, was studied the influence of the substrate temperature on residual stress of thin films of zinc oxide (ZnO) grown on glass substrates (soda lime glass) at temperatures between 300 and 500°C. The substrates used were glass sheets and object holder as precursor solution was used zinc acetate di-hydrate [Zn (CH3CO2) 2.2H2O] dissolved in methanol 0.2 M. pressure and air flow were fixed at 2.2 kPa to 5 L / min, respectively. Patterns of X-ray diffraction revealed typical diffraction peaks of hexagonal wurtzite structure, with an improvement in crystallinity and tendency to preferential growth on the c-axis direction with increasing substrate temperature. Images by scanning electron microscopy (SEM), show a smaller grain growth and surface roughness as the substrate temperature increases. ZnO films are transparent in the visible range (80-90%). Absorbance spectra of ZnO films show excitonic peaks of greater intensity and better defined for temperatures greater than 300 ° C. Regarding the effect of substrate temperature on residual stress of ZnO films it was observed that such efforts changed uniaxial compressive to tensile (-1.48 to 1.31 GPa) with increasing substrate temperature, with minimal changes in the biaxial stress. En el presente trabajo se estudio la influencia de la temperatura del sustrato sobre los esfuerzos residuales de las películas delgadas de óxido de zinc (ZnO) crecidas sobre sustratos de vidrio (soda lime glass) a las temperaturas entre 300ºC y 500ºC. Los sustratos utilizados fueron láminas de vidrio porta-objeto y como solución precursora se empleó acetato de zinc di-hidratado [Zn (CH3CO2)2.2H2O] disuelto en metanol a 0.2 M. la presión y flujo del aire fueron fijadas a 2.2 kPa y 5 L/min, respectivamente. Los patrones de difracción de rayos X, revelaron picos de difracción típicos de la estructura hexagonal wurtzita, con un mejoramiento en la cristalinidad y tendencia a un crecimiento preferencial en la dirección del eje c con el incremento de la temperatura del sustrato. Las imágenes por microscopia electrónica de barrido (MEB), muestran un crecimiento del grano y menor rugosidad superficial conforme se incrementa la temperatura del sustrato. Las películas de ZnO obtenidas son transparentes en el rango visible (80 – 90%). Los espectros de absorbancia para las películas de ZnO revelan picos excitónicos de mayor intensidad y mejor definidos para temperaturas mayores de 300ºC. Respecto al efecto de la temperatura del sustrato sobre los esfuerzos residuales de las películas de ZnO se observó que los esfuerzos de tipo uniaxial cambiaron de compresivos a tensiles (-1.48 a 1.31 GPa) con el incremento de la temperatura del sustrato, siendo mínimos los cambios en los esfuerzos biaxiales. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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