Análise por feixes de íons de filmes finos dielétricos depositados por sputtering reativo e crescidos termicamente
| Autor: | Stedile, Fernanda Chiarello |
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| Přispěvatelé: | Schreiner, Wido Herwig, Freire Junior, Fernando Lazaro |
| Jazyk: | portugalština |
| Rok vydání: | 1993 |
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| Zdroj: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da UFRGS Universidade Federal do Rio Grande do Sul (UFRGS) instacron:UFRGS |
| Popis: | Esta tese trata de filmes finos de materiais dielétricos depositados por sputtering reativo e crescidos termicamente que são analisados por métodos de feixes de íons. Como introdução aos nossos trabalhos, são abordados os princípios da deposição por sputtering com corrente contínua, com rádio-freqüências e em atmosferas reativas. Além disso, são apresentados os princípios de crescimento térmico em fornos clássicos e em fornos de tratamento térmico rápido. Também são descritos em detalhe os métodos análiticos de espectropia de retroespalhamento Rutheford e reações nucleares ressonantes e não-ressonantes para medir as quantidades totais e os perfis de concentração em função da profundidade dos vários isótopos utilizados, bem como o método de difração de raios-X. No que concerne à deposição por sputtering reativo de filmes finos de nitreto de silicio, nitreto de alumínio e nitreto duplo de titânio e alumínio, são estudados os processos de deposição, são caracterizados os filmes desses materiais e são estabelecidas correlações entre características dos filmes e os parâmetros de deposição. Quanto ao crescimento térmico em atmosferas reativas de filmes muito finos de óxido, nitreto e oxinitreto de sílicio, são apresentados modelos para o crescimento dos filmes de óxido de sílicio, é estudada a influência da limpeza do substrato de sílicio nos mecanismos de crescimento dos filmes de óxido de sílicio e são elucidados aspectos dos mecanismos de nitretação térmica do sílicio e de filmes de óxido de sílicio. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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