Анализ процессов на границе кремний-двуокись кремния при ультратонком окислении кремния световыми потоками

Jazyk:	ruština
Rok vydání:	2000
Zdroj:	Известия Южного федерального университета. Технические науки.
ISSN:	1999-9429
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2806::888f994a9ac37f716d0d361b2d712821 http://cyberleninka.ru/article_covers/10427217.png Zobrazit plný text záznamu