Упрочняющие тонкопленочные покрытия на основе нитридов и углеродных материалов

Jazyk: ruština
Rok vydání: 2014
Předmět:
Zdroj: Приволжский научный вестник.
ISSN: 2224-0179
Popis: Рассмотрены условия формирования наноструктурированных пленок нитридов (TiN, ZrN и AlN), пленок алмаза и алмазоподобных углеродных пленок методами тонкопленочной технологии. Изучено строение пленок методами электронной микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света и рентгеновской дифрактометрии. Показаны примеры использования разработанных материалов.
The conditions of formation of nanostructured films of nitrides (TiN, ZrN, AlN), diamond films and diamond-like carbon films by the methods of thin-film technology are considered. The structure of films studied with electron microscopy, Raman spectroscopy and X-ray diffraction methods. Showed an example of using the materials.
Databáze: OpenAIRE