Упрочняющие тонкопленочные покрытия на основе нитридов и углеродных материалов
Jazyk: | ruština |
---|---|
Rok vydání: | 2014 |
Předmět: | |
Zdroj: | Приволжский научный вестник. |
ISSN: | 2224-0179 |
Popis: | Рассмотрены условия формирования наноструктурированных пленок нитридов (TiN, ZrN и AlN), пленок алмаза и алмазоподобных углеродных пленок методами тонкопленочной технологии. Изучено строение пленок методами электронной микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния света и рентгеновской дифрактометрии. Показаны примеры использования разработанных материалов. The conditions of formation of nanostructured films of nitrides (TiN, ZrN, AlN), diamond films and diamond-like carbon films by the methods of thin-film technology are considered. The structure of films studied with electron microscopy, Raman spectroscopy and X-ray diffraction methods. Showed an example of using the materials. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |