Электротранспортные свойства широкозонных оксидов и многослойных пленок
| Jazyk: | ruština |
|---|---|
| Rok vydání: | 2015 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Вестник Воронежского государственного технического университета. |
| ISSN: | 1729-6501 |
| Popis: | Получены пленки ZnO, In 2O 3 и многослойная структура (In 2O 3/ZnO) 83. Исследованы структура и электрические свойства пленок. Рентгенографические исследования показали, что пленки ZnO и In 2O 3 имеют мелкокристаллическую структуру. Низкотемпературные измерения сопротивления позволили выявить наличие слабой локализации электронов проводимости для пленок In 2O 3 и (In 2O 3/ZnO) 83. Обнаружено, что при увеличении температуры отжига в пленках In 2O 3 длина неупругого рассеивания электронов увеличивается, а в пленках (In 2O 3/ZnO) 83 уменьшается The films ZnO, In 2O 3 and a multilayer structure (In 2O 3/ZnO) 83 are prepared. The structure and electrical properties of the films are investigations. X-rays studies have shown that the films of ZnO and In 2O 3 have fine-grained structure. Low-temperature resistance measurements revealed the presence of weak localization of conduction electrons for films In 2O 3 and (In 2O 3/ZnO) 83. It is found that with increasing annealing temperature in In 2O 3 films the length of inelastic scattering of electrons increases, and in films (In 2O 3/ZnO) 83 it is decreases |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
