| Jazyk: |
ukrajinština |
| Rok vydání: |
2020 |
| Předmět: |
|
| Zdroj: |
Міжнародна науково-технічна конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи» : матеріали конференції, 16-22 листопада 2020 р., м. Київ, Україна |
| Popis: |
Проведено дослідження газочутливих властивостей (S) nc-SiC плівок, отриманих оригінальним методом прямого іонного осадження. Продемонстрована здатність плівок нанокристалічного SiC з електронним типом провідності детектувати окисні (О2) та ві-дновлювальні гази (СО, СН4) з гранично допустимими концентраціями. The research of gas-sensitive properties of (S) nc-SiC films obtained by the original method of direct ion deposition is carried out. The ability of nanocrystalline SiC films with electronic conductivity to detect oxidizing (O2) and reducing gases (CO, CH4) with maximum permissible concentrations is demonstrated . |
| Databáze: |
OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
