| Popis: |
Рассмотрены физические основы магнетронного распыления и разновидности магнетронных систем для нанесения тонких пленок и покрытий различного назначения, в том числе системы с усиленной ионизацией газовой среды и импульсные магнетронные распылительные системы. Для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов высших технических заведений специализирующихся в области электронных физико-технических устройств и ионно-плазменных технологий для электроники, оптики и машиностроения. Розглянуто фізичні основи магнетронного розпилення та різновиди магнетронних систем для нанесення тонких плівок і покриттів різного призначення, в тому числі системи з посиленою іонізацією газового середовища і імпульсні магнетронні розпилювальні системи. Для наукових і інженерно-технічних працівників, аспірантів і студентів вищих технічних закладів, що спеціалізуються в галузі електронних фізико-технічних пристроїв і іонно-плазмових технологій для електроніки, оптики і машинобудування. |
