Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням
| Autor: | Borisova, A., Machulyansky, A., Rodionov, M., Smilyk, V., Yakimenko, Y. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2015 |
| Předmět: |
621.318
плівки оксинітриду алюмінію электрическая прочность магнетронное реактивное распыление хімічна стійкість термічна стабільність magnetron reactive sputtering chemical resistance thermal stability термическая стабильность aluminum oxynitride film електрична міцність пленки оксинитрида алюминия химическая устойчивость магнетроне реактивне розпилення dielectric strength |
| Zdroj: | Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал |
| Popis: | Вивчено вплив на електрофізичні та хімічні властивочті діелектричних плівок оксинітриду алюмінію технологічних режимів їхнього формування методом реактивного магнетронного напилення. Досліджено методом ІЧ-спектроскопії, ОЖЕ-спектроскопії та електронної мікроскопії електронний та структурний склад синтезованих плівок. Обговорено властивості спектральних та електрофізичних параметрів (питомого опору, електричної міцності, термічної стабільності та хімічної стійкості) плівок. Надано рекомендації щодо режимів синтезу плівок з метою забезпечення оптимізації електрофізичних параметрів на задані експлуатаційні властивості. Influence of technological modes of synthesis of aluminum oxynitride films by a method of magnetron reactive sputtering on their physical and chemical parameters is probed. Studied by IR spectroscopy and Auger electron microscopy and elemental, phase and structural composition of the synthesized films. Features of spectral and electrophysical parameters of films are discussed. Chemical stability of films is probed. Recommendations about modes of synthesis of films of electrophysical parameters of films providing optimization on the given their operational properties are received. Изучено влияние на электрофизические и химические свойства диэлектрических пленок оксинитрида алюминия технологических режимов их формирования методом реактивного магнетронного распыления. Исследован методом ИК – спектроскопии, ОЖЕ – спектроскопии и электронной микроскопии элементный и структурный состав синтезированных пленок. Обсуждены особенности спектральных и электрофизических параметров (удельного сопротивления, электрической прочности, термической стабильности и химической устойчивости) пленок. Даны рекомендации режимов синтеза пленок, обеспечивающих оптимизацию электрофизических параметров пленок на заданные эксплуатационные свойства. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|