Імпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнею

Jazyk: ukrajinština
Rok vydání: 2021
Předmět:
термоіонне осадження
specific capacity of capacitor foil
покрытие с развитой поверхностью
импульсный модулятор
coating with voluminous surface
thermoionic deposition
pulsed magnetron sputtering
імпульсний розряд в схрещених полях
ion-assisted deposition
pulse discharge in crossed fields
electron-beam evaporation
електронно-променеве випаровування
питома ємність конденсаторної фольги
электронно лучевое испарение
ионно-плазменное осаждение
импульсное магнетронного распыления
імпульсний модулятор
термоионным осаждения
импульсный разряд в скрещённых полях
537.521
537.525
533.9.07
621.38
62-408.8
імпульсне магнетронне розпилення
покриття з розгалуженою поверхнею
pulse modulator
удельная емкость конденсаторной фольги
іонно-плазмове осадження
Popis: Дисертаційна робота присвячена отриманню покриттів з розгалуженою поверхнею при використанні імпульсного розряду в схрещених електромагнітних полях. Розглянуто вплив імпульсного режиму термоіонного осадження на властивості покриттів. Показано комплексний підхід до розробки технологічних імпульсних модуляторів, дослідження їх в складі системи генерації плазми та процесу транспортування речовини, а також дослідженні утворених покриттів. The dissertation is devoted to obtaining coatings with a voluminous surface using a pulsed discharge in crossed electromagnetic fields. The influence of the pulsed regime of thermoionic deposition on the properties of coatings is considered. The complex way to the development of technological pulse modulators (TPM), their study as part of a plasma generation system and the substance transport process, and the study of the received coatings are shown. Диссертационная работа посвящена получению покрытий с развитой поверхностью при использовании импульсного разряда в скрещенных электромагнитных полях. Рассмотрено влияние импульсного режима термоионного осаждения на свойства покрытий. Показано комплексный подход к разработке технологических импульсных модуляторов, исследовании их в составе системы генерации плазмы и процесса транспортировки вещества и исследовании полученных покрытий.
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: