Herstellung von Metall-Silizium-Multischichten mit dem MOCVD-Verfahren

Autor:	Hamelmann, Frank
Jazyk:	němčina
Rok vydání:	2000
Předmět:	Mehrschichtsystem Silicium MOCVD-Verfahren Wolfram
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2294::001339bc49b98254cb6f63907da58d59 https://pub.uni-bielefeld.de/record/2433882 Zobrazit plný text záznamu