Deposition and characterization of boron nitride films grown by sputtering

Autor:	Giorgis, Fabrizio, Appiano, C., Crovini, G., Demichelis, F., Mina, G., Pirri, Candido, Rava, P., Tresso, E.
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	1997
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2153::83dfbc8932d4aa86f05ae4e370bfbcfd http://hdl.handle.net/11583/1661246 Zobrazit plný text záznamu