Optimization of relevant parameters for high quality a-SiC:H films

Autor:	Demichelis, F., Crovini, G., Pirri, Candido, Tresso, Elena Maria, Galloni, R., Rizzoli, R., Summonte, C., Rava, P.
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	1995
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2153::26a93114181f2402ecda264bf13b60d4 http://hdl.handle.net/11583/1661220 Zobrazit plný text záznamu