Вплив електричного поля на структуру плівок диборидів металів

Jazyk:	ukrajinština
Rok vydání:	2018
Předmět:	текстура перехідні метали енергія рентгеноструктурний аналіз потенціал зсуву іонний струм
Popis:	Мета роботи полягає у проведенні дослідження впливу електричних полей у вакуумній камері на процес розпилення плівок диборидів перехідних металів (на прикладі HfB2) методом ВЧ-магнетронного розпилення. Під час виконання роботи використовувались методи рентгенографічного аналізу на автоматизованому дифрактометрі та магнетронна розпилювальна система на базі планарного ВЧ-магнетрона для нанесення покриттів при різних технологічних умовах. У результаті проведених досліджень встановлено, що процес магнетронного розпилення суттєво залежить від електромагнітних впливів. Було розглянуто проблематику в сучасному науковому світі. Описано методику отримання плівок диборида гафнію та їх аналізу.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______2001::dff718c08357420be6723ac0d73a53ae http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/72018 Zobrazit plný text záznamu