Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AIN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці

Autor: Perekrestov, Viacheslav Ivanovych, Kosminska, Yuliia Oleksandrivna, Mokrenko, Oleksandr Anatoliiovych, Korniushchenko, Hanna Serhiivna, Doshyn, Borys Viktorovych, Doshyn, V.B., Latyshev, V.M.
Jazyk: ukrajinština
Rok vydání: 2011
Předmět:
Popis: Метою проекту є дослідження й розробка нових технологічних підходів до формування конденсатів Si, SiC і AlN, основаних на явищах самоорганізації квазірівноважних стаціонарних процесів на межі поділу низькотемпературна плазма-конденсат. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35280
Databáze: OpenAIRE