| Autor: |
Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych, Kyrik, Hryhorii Vasylovych, Illiashenko, Maksym Viktorovych, Kaverin, Mykhailo Valeriiovych, Kaverina, Alisa Sher Akhmad, Shypylenko, Andrii Pavlovych, Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych, Rohoz, Vladyslav Mykolaiovych, Bratushka, Serhii Mykolaiovych |
| Jazyk: |
ruština |
| Rok vydání: |
2014 |
| Předmět: |
|
| Popis: |
Основной целью научно-исследовательской работы является установление взаимосвязи технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) с термической стабильностью, механическими и трибологическими свойствами наноструктурных нитридных покрытий (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N. Для достижения поставленной цели решались следующие задачи: 1)проанализировать влияние технологических параметров осаждения (давление рабочего газа и потенциал смещения подложки) на элементный и фазовый состав нитридных покрытий; 2)изучить термическую стабильность нитридных покрытий при температуре отжига 873 К. |
| Databáze: |
OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
