| Popis: |
Мета роботи полягає у комплексному дослідженні структурно-фазового стану та електрофізичних властивостей (термічний коефіцієнт опору та коефіцієнт тензочутливості) плівкових зразків на основі Сo і Ru або Ag, отриманого методом пошарової конденсації із подальшим термовідпалюванням. Установлено вплив температури на терморезистивні властивості таких структур та проведені дослідження тензорезистивних властивостей в рамках 5-ти циклів «навантаження - зняття навантаження» при деформації до 1%. Так, КТ зменшується при збільшенні товщини досліджуваних зразків з 1,32 для одношарової плівки Ru(15)/П до 1,05 для зразка Co(20)/Ru(25)/П. Досліджено терморезистивні властивості плівкових структур на основі Ru і Co або Ag. Були досліджені як одношарові зразки, так і мультишари [Ru(3)/Co(3)]5/Ag(10)/П та [Ru(3)/Co(3)]25/Ag(10)/П. Питомий опір змінюється в діапазоні від 12*10:(–6) Ом*м та 4*10^(–6) Ом*м, який зменшується після першого циклу нагріву до 10*10^(–6) Ом*м та 3*10^(–6) Ом*м відповідно. |
