| Popis: |
В останні роки широке застосування набувають плівки на основі β-фази Ga2O3. Тонкі плівки Ga2O3 товщиною 0.2-0.8 мкм одержані високочастотним (ВЧ) іонно-плазмовим розпиленням на підкладках із плавленого кварцу υ-SiO2. Для отриманих плівок -Ga2O3 характерна полікристалічна структура, яка відрізняється залежно від способу термообробки плівок. Одержані в роботі результати при дослідженні коливних спектрів можна використати при вивченні структури і досконалості тонких плівок -Ga2O3, перебудови їх структури під час фазових переходів. Спектри ІЧ-відбивання корисні для інтерпретації плівок -Ga2O3, легованих елементами III-V груп періодичної системи. Наявність у цих спектрах порівняно вузьких смуг дозволяє проводити кількісний аналіз домішок. |
