Autor:	Vomiero, A., Boscolo Marchi, E., Quaranta, A., Della Mea, G., Mariotto, Gino, Felisari, R. S. Brusa L., Frabboni, S., Tonini, R., Scandurra, G. Ottavini G. Mattei A., Pugliesi, O.
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2007
Předmět:	structural properties reactive sputtering Tungsten-silicon-nitrogen films
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1943::a2b3a9e38299ccd5d910d4b2fbfe667f http://hdl.handle.net/11562/311749 Zobrazit plný text záznamu