Shallow donor complexes formed by high temperature diffusion of magnesium in silicon

Autor:	Pavlov, Sergey, Astrov, Yu. A., Portsel, L. M., Shuman, V. B., Lodygin, A. N., Abrosimov, N. V., Hübers, Heinz-Wilhelm
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2022
Předmět:	silicon technology diffusion doping
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1640::e88270c26be661b1d99e10a73a473301 https://elib.dlr.de/190360/ Zobrazit plný text záznamu