Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung
Autor: | Heberle, N., Heinze, J., Meier, U., Kohse-Höinghaus, K. |
---|---|
Rok vydání: | 1993 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | Heberle, N., Heinze, J., Meier, U., Kohse-Höinghaus, K. |
---|---|
Rok vydání: | 1993 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |