Capacitively-coupled rf discharge with a large amount of microparticles: experimental and numerical study

Autor:	Semenov, Igor, Pustylnik, Mikhail, Zähringer, Erich, Thomas, Hubertus M.
Jazyk:	angličtina
Předmět:	Complex plasmas capacitively coupled radiofrequency discharge numericall modelling
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1640::6850cba397631af4dd382cd980ec52df https://elib.dlr.de/114830/ Zobrazit plný text záznamu