Study of the Void-Induced Plasma Emission in Capacitively-coupled RF Complex Plasmas

Autor:	Pikalev, Aleksandr, Semenov, Igor, Pustylnik, Mikhail, Räth, Christoph, Thomas, Hubertus M.
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2020
Předmět:	optical emission spectroscopy RF discharge void fluid model complex plasma
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1640::3c7a51a722f539f894fa650dfe99aa86 https://elib.dlr.de/142946/ Zobrazit plný text záznamu