Наноструктурированные пленки металл-углерод на кремнии, сформированные торцевым эрозионным устройством
| Autor: | Углoв, В. В. |
|---|---|
| Jazyk: | ruština |
| Rok vydání: | 2008 |
| Předmět: | |
| Popis: | Уединенные проводящие образования на непроводящей поверхности представляют собой планарную матрицу емкостей, которая, в свою очередь, может использоваться в качестве детектора излучения определенных длин волн или элемента памяти. Целью данной работы являлось исследование возможности получения наноструктурированных пленок металлов и углерода на поверхности кремния эрозионными методами, а также изучение их морфологии и электрических свойств. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|