Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения

Jazyk:	ruština
Rok vydání:	1995
Předmět:	ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика [ЭБ БГУ]
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od______1594::5456cfd01e5c80b87178cf07f8341e01 http://elib.bsu.by/handle/123456789/25863 Zobrazit plný text záznamu