Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
| Jazyk: | ruština |
|---|---|
| Rok vydání: | 2006 |
| Předmět: | |
| Popis: | Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|