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El objetivo y principal aportación de este proyecto de investigación, fue el desarrollo dealgunos procesos de síntesis, deposición y caracterización de películas delgadas de Al2O3,ZnO y NiOx, y su aplicación en la fabricación de dispositivos electrónicos y optoelectrónicos.Se logró obtener con éxito, películas delgadas de Al2O3 y ZnO a baja temperatura mediantela técnica de deposición por capas atómicas mejorada con plasma (PE-ALD), estas películaspresentaron excelentes propiedades ópticas, morfológicas, estructurales, composicionales yeléctricas, que permitieron su aplicación en la fabricación de dispositivos electrónicos. Laspelículas de Al2O3 y ZnO se utilizaron como dieléctrico y semiconductor tipo-nrespectivamente, en la fabricación de transistores de película delgada transparente,capacitores y resistores, estos dispositivos presentaron propiedades muy prometedoras paraaplicaciones en electrónica flexible.Se logró obtener y caracterizar con éxito películas delgadas de NiOx a partir de la oxidacióntérmica a 400 °C, 500 °C y 600 °C de películas delgadas de Ni depositadas por la técnica deevaporación con haz de electrones (e-beam). Se fabricaron fotodiodos basados en unaheteroestructura NiOx/Si. Los diodos con capa de NiOx obtenidos a 500 °C mostraron elmejor rendimiento en términos de corriente inversa y fotorespuesta. A 0 V estos diodos tienenresponsividades entre 0.85 y 0.41 A/W para longitudes de onda en el rango de 365 – 635 nm,mientras que bajo un sesgo inverso de -1.5 V la responsividad aumenta a valores entre 59 y32 A/W. Estas responsividades son mucho más altas que las reportadas previamente parafotodiodos basados en heteroestructura NiO/Si y se encuentran entre los valores más altospublicados para detectores de banda ancha.Por último, se desarrollaron dos procesos de síntesis y deposición de películas delgadas ynanopartículas de NiOx mediante el método Sol-Gel y la síntesis coloidal respectivamente,ambos procesos resultaron ser sencillos, de bajo costo y permitieron obtener NiOx conpropiedades ópticas, estructurales, morfológicas, composicionales, muy prometedoras paraaplicaciones en dispositivos electrónicos y optoelectrónicos. |
