Ion/molecule reactions in SiH4/NF3 mixtures

Autor:	Antoniotti, Paola, Operti, Lorenza, Rabezzana, Roberto, Turco, Francesca, Vaglio, Gian Angelo, Giordani, M., Grandinetti, F.
Jazyk:	italština
Rok vydání:	2009
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______970::08f00e2a4c86747798488c2578489a9b http://hdl.handle.net/2318/62749 Zobrazit plný text záznamu