High Quality Surface Passivation and Heterojunction Fabrication by VHF-PECVD Deposition of a-Si:H on c-Si Theory and Experiments
| Autor: | Fesquet, Luc, Olibet, Sara, Vallat-Sauvain, Evelyne, Shah, Arvind, Ballif, Christophe |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2008 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|