DESIGN AND CHARACTERIZATION OF THERMALLY ACTUATED BIMETALLIC MEMBRANES BY MICHELSON INTERFEROMETRY

Autor: DUARTE, JULIO ENRIQUE, FERNÁNDEZ MORALES, FLAVIO HUMBERTO, BADOSA, ESTELA MARTIN
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2011
Předmět:
Zdroj: DYNA, Volume: 78, Issue: 166, Pages: 75-80, Published: APR 2011
Popis: This paper presents the design and characterization of thermally actuated Al-Si bimetallic membranes. The design was made with the Finite Element Method and was emphasized on optimizing the thickness ratio between the aluminum and silicon layers. The membrane deflection was measured employing the Michelson Interferometer. The experimental process was carried out with square membranes of 5 mm of side length, 10mm in silicon thickness, and an aluminum thicknesses of 4 and 1mm. A maximum deflection of 14mm was obtained for membranes with 4mm of aluminum thickness, which is consistent with predictions made by numerical calculations. En el presente trabajo se describen el diseño y la caracterización de membranas bimetálicas de Al-Si, con actuación térmica. El diseño se realizó empleando el método de los Elementos Finitos y se concentró en optimizar la relación de los espesores de las capas de aluminio y silicio. La deflexión de las membranas se determinó aplicando la técnica del Interferómetro de Michelson. En la etapa experimental se utilizaron membranas cuadradas de 5 mm de lado, con un espesor de 10mm para el silicio y espesores de 4 y 1mm para el aluminio. La caracterización entregó un desplazamiento máximo de 14mm para la membrana con 4mm de Al, lo cual es consistente con los resultados obtenidos numéricamente.
Databáze: OpenAIRE