| Autor: |
Hertel, S., Schröder, T.J., Wünsch, D., Wiemer, M., Geßner, T. |
| Přispěvatelé: |
Publica |
| Jazyk: |
němčina |
| Rok vydání: |
2017 |
| Popis: |
Ziel der elektrochemischen Abscheidung (ECD) von Aluminium (Al) und Palladium (Pd) aus ionischen Flüssigkeiten ist die Herstellung von nanoskaligen reaktiven Materialsystemen (RMS) für ein Waferbondverfahren bei Raumtemperatur. Das Schichtsystem Al/Pd ist ein hochenergetisches System, welches nach Initiierung chemisch exotherm miteinander reagiert. Durch die schnelle Reaktion erfolgt eine lokale Erhitzung, wodurch ein Fügeprozess möglich ist. Derzeit werden die RMS in einem alternierenden Sputterprozess (Kathodenzerstäubung) hergestellt, wobei die Abscheidung auf mehreren Substraten gleichzeitig große Anforderungen an die Anlagentechnik stellt. |
| Databáze: |
OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
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