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Das Ziel der vorliegenden Dissertation war die Synthese neuer Precursoren für die Abscheidung von Oxiden der Elemente Ti, Ta, Ba und Al. Die Bereitstellung von Verbindungen mit für die Verarbeitung im MOCVD Prozess günstigen physikalischen und chemischen Eigenschaften erforderte die Anpassung der jeweiligen Ligandensphäre an das Metallzentrum. Als besonders günstig erwiesen hat sich eine Kombination der 1,2-Difunktionalität der mehrzähnigen Amino-alkohole mit einem hohen sterischem Anspruch am a-C-Atom der Alkoholfunktion. Da die Verwendung der Precursoren in industrienahen MOCVD-Anlagen erfolgte, wurden die Syntheserouten auf die Herstellung im großen Maßstab optimiert. Thermochemische Charakterisierungen insbesondere der Ti- und Ta-Verbindungen wurden als Unterstützung der MOCVD-Experimente wurden ebenfalls durchgeführt. The aim of the dissertation was to synthesize new precursors for the deposition of metal oxides of Ti, Ta, Al, and Ba. In order to reach this goal the ligand spheres was individually adapted by using multi-dentate amino alcohols having sterically crowded carbon atoms in a-position to the alcohol function. Since the precursors are used in industrial size MOCVD devices the synthetic routes were optimized to a big scale preparation. Experiments for the characterization of the thermal behaviour of the compounds in the case of the Ti- and Ta-complexes were also carried out. |
