Piezoelectric characterization of Si-photonic integrated PZT thin film
Autor: | Ansari, Irfan, Van de Veire, Tessa, Puthenparampil George, John, Feutmba, Gilles Freddy, Beeckman, Jeroen, Van Thourhout, Dries |
---|---|
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEE Photonics Society Annual Symposium 2019-Benelux Section Chapter, Proceedings |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |