Conformal nanocoatings for surface engineering of particles by thermal and plasma-enhanced atomic layer deposition using a rotary reactor

Autor: Rampelberg, Geert, Longrie, Delphine, Deduytsche, Davy, Haemers, Johan, Driesen, Kris, Detavernier, Christophe
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 2014
Předmět:
Zdroj: Advanced Ceramics and Composites, 38th International conference, Abstracts
Databáze: OpenAIRE