In situ characterization of ALD in mesoporous thin films by grazing incidence small angle X-ray scattering
| Autor: | Dendooven, Jolien, Devloo-Casier, Kilian, Ide, Matthias, Grandfield, Kathryn, Ludwig, Karl F, Van Der Voort, Pascal, Bals, Sara, Detavernier, Christophe |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2012 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Atomic Layer Deposition, 12th International conference, Abstracts |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|