Defect annealing in polysilicon films by CW laser treatments
Autor: | Chowdhury, A., Bahouka, A., Schneider, Jodi, Dore, J., Mermet, F., Slaoui, A. |
---|---|
Přispěvatelé: | Jung, Marie-Anne |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2012 |
Předmět: | |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |