Moisture diffusion in dense SiO2 and ultra low k integrated stacks
Autor: | Cartailler, V., Imbert, G., Guyader, V., Juhel, M., Lamontagne, P., Rafik, M., Ney, D., Benoit, D., Chaton, C., Moulard, J. B., Duchamp, G., Fremont, H. |
---|---|
Přispěvatelé: | Fremont, Hélène |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 2019 |
Předmět: | |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |