A new method to assess the hermeticity of mems micro-packages

Autor:	Veyrie, David, Roux, Jl, Pressecq, F., Tetelin, Angélique, Pellet, Claude
Přispěvatelé:	Import, Ims
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2005
Předmět:	[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______166::c2bfedefaa57ff2602dee6c16fcb2b96 https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00183069 Zobrazit plný text záznamu