Autor:	Ardouin, Bertrand, Zimmer, Thomas
Přispěvatelé:	Import, Ims
Jazyk:	francouzština
Rok vydání:	2005
Předmět:	[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______166::bdd8305a90661f34ce0060adc4785e8d https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00203988 Zobrazit plný text záznamu