Piégeage d'impuretés métalliques par implantation d'hélium : Applications aux composants intégrés de puissance

Autor:	Roqueta, F.
Přispěvatelé:	Jung, Marie-Anne
Jazyk:	francouzština
Rok vydání:	2000
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______166::2980abb96fa6aebf0d15e33d07bbc69e https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00722491 Zobrazit plný text záznamu