Een plasma deeltjesbron voor grote flux atomaire en andere radicalen
| Autor: | de Graaf, M.J., van Lierop, H.R.M., van de Sanden, M.C.M., Schram, D.C. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Plasma & Materials Processing |
| Jazyk: | Dutch; Flemish |
| Rok vydání: | 1994 |
| Zdroj: | Nevac Blad, 32(4), 77-83 |
| ISSN: | 0169-9431 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|