Fast expanding plasma beam deposition of C and Si-thin layers
| Autor: | Schram, D.C., Gielen, J.W.A.M., Buuron, A.J.M., Meeusen, G.J., Doumtchenko, S.N., Haaland, P.D., van de Sanden, M.C.M. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Plasma & Materials Processing |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1993 |
| Zdroj: | 46th Annual Gaseous Electronics Conference |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|