Autor:	Steenwelle, Ruud Johannes Antonius, Nguyen, Duc Minh, Dekkers, Jan M., de Waal, A.C., Wan, X., Blank, David H.A., Rijnders, Augustinus J.H.M.
Přispěvatelé:	Inorganic Materials Science
Rok vydání:	2009
Předmět:	METIS-260593
Zdroj:	MESA+ Day 2009
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=narcis______::7b3b854c553ae58648277cbaa4abd511 https://research.utwente.nl/en/publications/piezoelectric-mems-by-pulsed-laser-deposition(de7f529f-88c9-425d-b41f-504a0a8ab64d).html Zobrazit plný text záznamu