Optimization of actuator shapes for a wafer heating application
| Autor: | Veldman, D.W.M., Fey, R.H.B., Zwart, H.J., van de Wal, M.M.J., van den Boom, J.D.B.J., Nijmeijer, H. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Dynamics and Control |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2018 |
| Zdroj: | ISSUE=21;TITLE=21st Engineering Mechanics Symposium |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|