Surface roughness improvements of Tungsten LPCVD

Autor:	Hasper, A., Holleman, J., Middelhoek, J., Smith, Gregory C., Blumenthal, Roc
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	1991
Předmět:	METIS-112457
Zdroj:	Tungsten and other advanced metals for VLSI applications in 1990: proceedings of the 1990 Workshop held October 22-24, 1990, Dallas, Texas, U.S.A., 317-325 STARTPAGE=317;ENDPAGE=325;TITLE=Tungsten and other advanced metals for VLSI applications in 1990
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=narcis______::4b695e28c1c19ee09a23c7940ee6c15b https://research.utwente.nl/en/publications/surface-roughness-improvements-of-tungsten-lpcvd(ab95e5b6-5fde-43c5-87ff-d5547d9fafd6).html Zobrazit plný text záznamu