Spray coating of photoresist for pattern transfer on high topography surfaces
| Autor: | Pham, N.P., Burghartz, J.N., Sarro, P.M. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2005 |
| Zdroj: | Journal of Micromechanics and Microengineering, 15 (4) |
| ISSN: | 0960-1317 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|