Investigation of a CF4/Ar RF gas discharge
| Autor: | Vallinga, P.M., Meijer, P.M., Smits, A.J., Hoog, de, F.J., Akashi, K., Kinbara, A. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Applied Physics |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1987 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ISPC 8 : International symposium on plasma chemistry, Tokyo, August 31-September 4, 1987, vol. 1 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|